電容式傳感器是以各種類型的電容器為傳感元件，將被測物理量或機械量轉(zhuǎn)換成電容變化的轉(zhuǎn)換裝置，實際上是具有可變參數(shù)的電容器。接下來，讓我們看看電容式傳感器的優(yōu)點。

　　1.溫度穩(wěn)定性好。電容傳感器的電容值一般與電極材料無關，有利于選擇溫度系數(shù)低的材料，由于發(fā)熱極小，影響穩(wěn)定性很小。電阻傳感器有銅損傷，容易發(fā)熱，產(chǎn)生零漂移。

　　2.結(jié)構(gòu)簡單。電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡單，易于制造和保證高精度，可以做得非常小，實現(xiàn)一些特殊的測量;可以在高溫、強輻射、強磁場等惡劣環(huán)境下工作，可以承受很大的溫度變化、高壓、高沖擊、過載等?？梢詼y量超高低壓差，也可以測量磁性工作。

　　3.良好的動態(tài)響應。由于帶電極板之間的靜電引力很小(約10^(-5)N)，電容式傳感器所需的作用能量很小，而且由于其可動部分可以做得很小很薄，即質(zhì)量很輕，所以其固有頻率很高，動態(tài)響應時間很短，可以在幾兆赫茲的頻率下工作，尤其適合動態(tài)測量。因為它的介質(zhì)損耗小，可以用更高的頻率供電，所以系統(tǒng)的工作頻率很高。可以用來測量高速變化的參數(shù)。

　　可非接觸式測量，靈敏度高?？梢苑墙佑|式測量旋轉(zhuǎn)軸的振動或偏心率，小滾珠軸承的徑向間隙等。采用非接觸式測量時，電容式傳感器具有平均效應，可減少工件表面粗糙度等對測量的影響。

　　除上述優(yōu)點外，電容式傳感器還具有帶電極板間靜電引力小、所需輸入力和輸入能量小等特點，因此可測量極低的壓力、力和極小的加速度、位移等，可做得非常靈敏，分辨率高，可感應0.01μm甚至更小的位移。由于其空氣等介質(zhì)損耗小，采用差動結(jié)構(gòu)，連接到橋式時產(chǎn)生的零殘留極小，因此允許電路高倍放大，使儀器靈敏度高。